专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]镀膜设备-CN202010025246.X在审
  • 吴兰峰;卢林;蒋秀林 - 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
  • 2020-01-10 - 2020-04-17 - C23C16/30
  • 本发明涉及镀膜设备,所述镀膜设备包括:镀膜装置,所述镀膜装置用于在被镀膜件的表面进行镀膜;退火装置,所述退火装置用于对表面镀膜的被镀膜件进行退火处理;输送机构,所述输送机构用于输送所述被镀膜件依次通过所述镀膜装置以及所述退火装置本发明实施例的镀膜设备,集成了镀膜装置和退火装置,降低了设备成本,节约了生产场地,且较大的提高了生产效率,进而提高了产能。
  • 镀膜设备
  • [发明专利]镀膜设备-CN201910058320.5在审
  • 王培红;李晨光 - 南昌欧菲显示科技有限公司
  • 2019-01-22 - 2020-07-28 - C23C14/56
  • 本申请公开了一种镀膜设备。本申请实施方式的镀膜设备镀膜腔、镀膜鼓和通气组件。镀膜鼓的一部分位于镀膜腔。基材缠绕镀膜鼓上,通气组件设置在镀膜鼓上,通气组件用于将外部气体导入至镀膜鼓的内部并传输至缠绕在镀膜鼓上的基材。本申请实施方式的镀膜设备中通气组件设置在镀膜鼓上,通过通气组件将外部气体传输到基材上,既能将基材缠绕在镀膜鼓上,又能带走基材的热量,保证基材的镀膜质量。
  • 镀膜设备
  • [发明专利]镀膜设备-CN202211491045.4在审
  • 戴佳;朱鹤囡;董雪迪;张武;林佳继 - 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-06-23 - C23C16/54
  • 本发明公开了一种镀膜设备,该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统,载具运输线用于运输基体载具,上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载,基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜,中转系统与基体镀膜腔体系统连接,中转系统用于将基体载具在载具运输线和基体镀膜腔体系统之间转换。该镀膜设备在一条连贯的生产线内部实现基体的双面镀膜,产品良率较高,设备布局面积较小,厂房使用效率较高。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202223141395.6有效
  • 戴佳;朱鹤囡;董雪迪;张武;林佳继 - 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-04-07 - C23C16/54
  • 本实用新型公开了一种镀膜设备,该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统,载具运输线用于运输基体载具,上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载,基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜,中转系统与基体镀膜腔体系统连接,中转系统用于将基体载具在载具运输线和基体镀膜腔体系统之间转换。该镀膜设备在一条连贯的生产线内部实现基体的双面镀膜,产品良率较高,设备布局面积较小,厂房使用效率较高。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202020231862.6有效
  • 易伟华;张迅;郑芳平;徐彬彬;洪华俊 - 江西沃格光电股份有限公司
  • 2020-02-28 - 2020-12-18 - C23C14/34
  • 本实用新型涉及一种镀膜设备。上述镀膜设备用于给基板镀膜镀膜设备包括第一中频镀膜室和伸缩件,第一中频镀膜室包括第一中频靶底板和第一靶材,第一中频靶底板设有两个,两个第一中频靶底板错开设置且存在间隔,每一第一中频靶底板设有第一靶材,基板能够从间隔穿过,伸缩件连接于第一中频靶底板,且能够带动第一靶材靠近或者远离基板,进而给基板镀膜。上述镀膜设备,错开的两个第一靶材可以同时对基板进行镀膜,有效的提高了镀膜镀膜效率,同时第一中频靶底板上的伸缩件可以带动第一靶材靠近或者远离基板,使基板的镀膜操作过程更加灵活。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN201922151677.6有效
  • 宗坚;冯国满 - 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
  • 2019-12-04 - 2020-09-25 - C23C16/505
  • 本实用新型提供了一镀膜设备,其中所述支撑结构应用于一镀膜设备,供支撑至少一待镀膜工件,其中所述镀膜设备包括一反应腔体和具有一反应腔,所述支撑结构被容纳于该反应腔并且被支撑于该反应腔体,其中所述支撑结构被可导通地连接于该镀膜设备的一放电装置以作为电极放电
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202020430990.3有效
  • 林育正;陈麒麟 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
  • 2020-03-30 - 2020-12-22 - C23C14/32
  • 本实用新型公开了一种镀膜设备,包括真空腔体、离子镀膜源、导电部和保持部;离子镀膜源设于真空腔体内,设置为提供离子化的成膜粒子;导电部设于真空腔体内且与离子镀膜源相对设置,设置为在镀膜过程被施加相反于成膜粒子的电性的偏压,以吸引成膜粒子朝导电部方向移动;保持部用于承载基材,以将基材置于离子镀膜源和导电部之间,并使基材的待镀膜表面和离子镀膜源相对。本实用新型镀膜设备能够有效沉积镀膜,减少材料浪费。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202023145825.2有效
  • 黎微明;李翔;吴兴华 - 江苏微导纳米科技股份有限公司
  • 2020-12-23 - 2021-09-03 - C23C14/56
  • 本实用新型涉及一种镀膜设备,在进行异质结太阳能电池的镀膜时,第一镀膜机构、第二镀膜机构及第三镀膜机构分别实现I层、p层及n层的镀设。硅片在第一运输组件的带动匀速通过第一镀膜腔体,从而在两面形成I层;接着,基片依次进入第二镀膜腔体及第三镀膜腔体,从而得到p层及n层。在第二镀膜腔体及第三镀膜腔体内,工艺参数可单独进行调整,从而得到所需的窗口层以保证转换效率。由于硅片两侧的I层成分相同,故可以在第一镀膜腔体内同时成型。而且,I层镀膜时的工艺参数保持恒定,故多个硅片可以连续通过第一镀膜腔体,从而实现I层的连续动态的镀膜。因此,第一镀膜腔体的利用率显著提升,故上述镀膜设备的产能的以提高。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202120322923.4有效
  • 来华杭;娄国明;谢斌斌;俞峰;周海龙 - 浙江上方电子装备有限公司
  • 2021-02-03 - 2021-12-07 - C23C14/50
  • 本申请公开了一种镀膜设备,包括镀膜室以及转动安装于镀膜室内、用于承载镀膜工件的转架,镀膜设备还包括:气电组合滑环,带有相对的固定部和旋转部,固定部和旋转部上配置有相应的电路接头和流体接头,固定部相对于镀膜室固定安装,旋转部与转架绕相同轴线布置;晶振传感器,固定于转架、以采集镀膜厚度信号,晶振传感器通过导线与旋转部上的电路接头相连;冷却管路,与晶振传感器热耦合,冷却管路与旋转部上的流体接头连通。本申请的镀膜设备,通过将晶振传感器固定在转架上并跟随转架的转动而旋转,因此能够及时、准确的测量镀膜工件的膜厚度值。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202023289426.3有效
  • 李时俊;陈麒麟;刘兵吉 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
  • 2020-12-30 - 2021-10-22 - C23C16/24
  • 本实用新型公开了镀膜设备,可用于在热丝化学气相沉积法中对衬底进行镀膜,所述镀膜设备包括至少两条用于对所述衬底进行镀膜的工艺线,所述工艺线通过传输装置连接,所述工艺线当中,包括一条第一工艺线,并且,在所述第一工艺线中,作为镀膜腔仅设置有用于在所述衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜的第一镀膜腔。根据根据本实用新型的镀膜设备,由于使用一条独立的工艺线(即第一工艺线)对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜,因此能够防止在对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜时和其他镀膜工艺之间产生交叉污染。
  • 镀膜设备
  • [实用新型]镀膜设备-CN202120528080.3有效
  • 曹欢笑;刘保磊;彭能;郭峰;刘敏;刘国祥;黄立 - 维达力实业(赤壁)有限公司
  • 2021-03-12 - 2021-12-14 - C23C14/50
  • 本实用新型涉及一种镀膜设备。该镀膜设备包括箱体、导轨、镀膜盘、滚轮、连接架以及驱动机构。导轨为闭环结构且固定连接于箱体的内部。镀膜盘固定连接于滚轮以随滚轮同步转动。采用上述镀膜设备对盖板进行镀膜加工时,镀膜盘上的盖板可以获取与连接架相同方向的转动,同时还能够获取与滚轮相同方向的转动,这样可以对盖板进行多方向、多角度的镀膜,有利于提高盖板上膜层的均匀性。
  • 镀膜设备

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